成永军 研究员 技术科学奖
2012年


  中国航天科技集团公司第五研究院第五一O研究所成永军研究员因作为主要发明人之一提出了非蒸散型吸气剂延伸超高/极高真空标准校准下限的方法,推动了真空计量技术的发展,从而获得陈嘉庚青年科学奖技术科学奖。
  成永军,1975年4月18日出生于甘肃省会宁县。1998年毕业于西北工业大学,同年进入中国航天科技集团公司第五研究院第五一 研究所工作至今。2008年晋升为高级工程师。现任中国航天科技集团公司第五研究院第五一 研究所真空计量研究室副主任、真空一级计量站副站长。目前被聘为中国计量测试学会真空计量专业委员会委员、计量主考人。
成永军高级工程师一直以来从事真空计量学领域的实验研究工作。作为项目负责人和主要完成人,研制出我国首台超高/极高真空标准、恒压式正压漏孔标准、极小气体流量测量标准、新一代静态膨胀法真空基础标准等多台真空计量标准,进一步完善了我国真空量传体系。目前已获授权国家发明专利15项,在国内外学术刊物发表论文60余篇。曾先后荣获科技进步一等奖、技术发明二等奖等。

非蒸散型吸气剂在真空计量标准校准下限延伸中的应用


影响真空标准校准下限的主要因素是校准室内表面的放气效应。为了降低内表面放气效应对校准下限的影响,国际上采取的主要手段是对校准室内表面进行抛光处理和进行高温烘烤,但这并不能消除放气效应的影响。因此,延伸真空标准校准下限仍然是一项挑战性的工作。
非蒸散型吸气剂具有两个显著地特点:一个是在室温下对活性气体,特别是氢气的抽速很大;另一个是对惰性气体无抽速。
首次提出利用非蒸散型吸气剂延伸真空标准校准下限的方法,取得了显著成效。
将非蒸散型吸气剂应用于静态膨胀法真空标准中,以惰性气体作为校准气体时,可以消除器壁放气效应的影响。这是因为非蒸散型吸气剂既维持了校准室中的高真空本底,又不改变校准室内惰性气体的气体量,从而保证气体静态膨胀时波义耳定律严格成立,使标准压力能够准确计算,有效将静态膨胀法真空标准的校准下限从国际最好水平(10-5Pa)延伸到了10-7Pa,为静态膨胀法的研究提供了另一条思路。
将非蒸散型吸气剂用在超高/极高真空标准中,以惰性气体校准时,非蒸散型吸气剂既维持了校准室内极高真空本底,又不改变对校准室的有效抽速,保证了动态流量法原理严格成立,首次将国内真空校准能力的下限延伸到了10-10Pa。